16通道傳感器配套專用測量顯示儀表
使用MICRO SD卡數(shù)據(jù)備份/儲存
采用 7” TFT LCD 觸摸顯示屏
5KHz高速測量技術(shù),支持測量軟件(如編輯圖案尺寸,輸入圖案)需要使用專用PC軟件 支持RS232C通訊模式,I/O接口 采用16 BIT AD CONVERTER 用于測量0.1μm的超高精密度
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